INFICON 진공 게이지 제품
MPG500/MAG500 /
INFICON Gemini™ 인버티드 마그네트론 진공 게이지는 모든 진공 측정 응용 분야의 핵심 제품입니다.
Gemini MPG500는 두 개의 센서 기술을 하나의 소형 장치에 결합한 반면,Gemini MAG500은 순수 냉음극 센서 시스템(Pirani 구성 없음)입니다.
특허받은 초저 자기장 표유장 설계는 완전히 새로운 범위의 응용 프로그램을 엽니다. 특별한 교체 가능한 이중 챔버 센서 장치는 청소 주기를 없게만들어 유지보수를 줄여서 동종 제품 중 가장 견고하고 경제적인 진공 게이지로 만듭니다.
센서 헤드 내부의 피드스루와 피라니는 내부식성을 향상시키기 위해 완전히 세라믹으로 코팅되어 있습니다.
⊙ 진공도 측정 범위
MAG500 : 7.6 × 10-10 torr ~7.6 × 10-3 torr
MPG500 : 7.6 × 10-10 ... (대기압)
⊙ 열악한 환경에서 긴 수명과 안정적이고 빠른 점화
⊙ 낮은 자기 표유 필드와 선택 가능한 측정 전류
⊙ 빠른 유지 관리 - 교체 가능한 이온화 챔버
⊙ 피드스루 및 센서 부품의 내부식성 우수
⊙ EtherCAT 및 RS232/RS485 디지털 인터페이스
⊙ 컴팩트한 크기 - 간편한 장착
⊙ 적용 가능 장비 : HANIL VACUUM, UNIVEC, VACUUMTEC
MPG500 – PFEIFFER 진공게이지와 호환 가능
PSG500 /
INFICON Pirani 표준 게이지 PSG500은 각종 현장에서 사용할 수 있는 가장 진보된 디지털 Pirani 기술을 사용하고 견고한 스테인리스 스틸 센서 셀과 컴팩트한 디자인은 반도체 시스템 및 진공 라인과 같은 표준 애플리케이션에 사용할 수 있습니다.
제품의 특장점
⊙ 진공도 측정 범위 : 3.7 X 10-4 ~ 대기압(ATM)
⊙ 간편한 대기압, 진공 조절 버튼 장착.
⊙ 컴팩트한 디자인으로 공간 절약.
⊙ 알루미늄 하우징 되어 있으며 방향 무관하게 장착 가능
⊙ 측정 소자가 전체 스테인리트 스틸로 되어 있어 견고함.
⊙ 로그 아날로그 출력 신호 체계로 장비와 장착에 용이
⊙ 10 bar 수준의 완벽한 과압 보호 체결하여 안정성 보장
⊙ ROHS 대응 소재로 제작
⊙ 적용 가능 장비 : HANIL VACUUM, UNIVEC, VACUUMTEC
제품의 특장점
⊙ 진공도 측정 범위 : 3.7 X 10-4 ~ 대기압(ATM)
⊙ 간편한 대기압, 진공 조절 버튼 장착.
⊙ 컴팩트한 디자인으로 공간 절약.
⊙ 알루미늄 하우징 되어 있으며 방향 무관하게 장착 가능
⊙ 측정 소자가 전체 스테인리트 스틸로 되어 있어 견고함.
⊙ 로그 아날로그 출력 신호 체계로 장비와 장착에 용이
⊙ 10 bar 수준의 완벽한 과압 보호 체결하여 안정성 보장
⊙ ROHS 대응 소재로 제작
⊙ 적용 가능 장비 : HANIL VACUUM, UNIVEC, VACUUMTEC
MPG400 /
INFICON INVERTED MAGNETRON Pirani GAUGE MPG400 은 대기압에서 3.8×10-9 Torr까지 측정합니다. 기술을 하나의 로그 아날로그 출력 신호와 함께 하나의 소형 장치에 결합하면 설치, 설정 및 통합의 복잡성이 크게 줄어듭니다.
제품의 특장점
⊙ 진공도 측정 범위 : 3.8×10-9 Torr ~대기압(ATM)까지
⊙ 콤비네이션 게이지 - 인버티트 마그네트론 및 피라니
⊙ 필라멘트가 산화되지 않아 내구성 우후.
⊙ 우수한 필라멘트 점화 특성
⊙ 간편한 청소
⊙ FPM 또는 메탈 실링 피드스루 사용으로 기밀성 유지.
⊙ 고전압 켜짐용 LED 표시
⊙ 적용 가능 장비 : UNIVEC , MPG500 으로도 설치 가능
제품의 특장점
⊙ 진공도 측정 범위 : 3.8×10-9 Torr ~대기압(ATM)까지
⊙ 콤비네이션 게이지 - 인버티트 마그네트론 및 피라니
⊙ 필라멘트가 산화되지 않아 내구성 우후.
⊙ 우수한 필라멘트 점화 특성
⊙ 간편한 청소
⊙ FPM 또는 메탈 실링 피드스루 사용으로 기밀성 유지.
⊙ 고전압 켜짐용 LED 표시
⊙ 적용 가능 장비 : UNIVEC , MPG500 으로도 설치 가능
